國科會首創半導體檢測技術 有助加速先進製程研發
AI帶動高效能、低功耗晶片需求，半導體製程加速邁向埃米世代。國科會成功開發全球首創的臨場剖面掃描顯微檢測技術，可即時觀測二維半導體與金屬接觸界面，突破過去只能間接量測的限制。研究團隊表示，距離大規模產業應用仍有一段路，但有助加速先進製程研發。
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